Ini adalah jenis distilasi dalam lingkungan vakum tinggi, untuk perbedaan jalur bebas pergerakan molekul material, dilakukan pada bahan yang peka terhadap panas atau proses penyulingan dan pemurnian bahan dengan titik didih tinggi. Distilasi Jalur Pendek terutama digunakan dalam bidang kimia, farmasi, petrokimia, rempah-rempah, plastik, minyak dan bidang lainnya.